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數(shù)字式電阻率測試儀技術(shù)文章
一·概述
M-2型數(shù)字式電阻率測試儀是運用四探針測量原理的多種用途綜合測量裝置，它可以測量片狀，塊狀半導(dǎo)體材料的徑向和軸向電阻率，測量擴散層的薄層電阻（也稱方塊電阻）。換上特制的四探針測試夾具，還可以對金屬導(dǎo)體的低，中值電阻進行測量。
儀器由主機，測試探頭（可選配測試臺）等部分組成，測試結(jié)果用數(shù)字表頭直接顯示。主機主要由數(shù)控恒流源，高分辨率ADC，嵌入式單片機系統(tǒng)組成，自動轉(zhuǎn)換量程。測試探頭采用高耐磨碳化鎢探針制成，定位準確，游移率較小，壽命長。
儀器適用于半導(dǎo)體材料廠，半導(dǎo)體器件廠，科研單位，高等院校對半導(dǎo)體材料的電阻性能的測試。特別適用于要求快速測量中低電阻率的場合.
本儀器工作條件為：
溫度：
相對濕度： 60% ~ 70%
工作室內(nèi)應(yīng)無強電磁場干擾，不與高頻設(shè)備共用電源
二· 技術(shù)參數(shù)
1. 測量范圍：
電阻率：10 -2 ~ 102Ω-cm
方塊電阻：10 -1 ~ 103Ω/□
電阻：10 -3 ~ 9999Ω
2. 可測半導(dǎo)體材料尺寸
直徑：15mm-100mm
長（或高）度：≤400mm
3. 測量方位：
Z軸向，徑向均可
4. 數(shù)字電壓表
量程：2V
誤差: ：± 0.1% FSB ± 2LSB
大分辨力：10μA
精度： 18位ADC ( 5 1/2 位)
顯示：4位數(shù)字顯示，小數(shù)點自動顯示
5. 數(shù)控恒流源
電流輸出： 直流電流 2μA~ 2mA, 2μA步進可調(diào)，系統(tǒng)自動調(diào)整。
誤差：± 0.1% FSB ± 0.5LSB
6. 四探針測試探頭：
探針間距： 1mm
探針機械游移率：± 1%
探針：碳化鎢，直徑0.5mm
7.電源：
DC 4.5V ~8V
功耗： < 1W
電源適配器：輸入： 220V±10% 50Hz
輸出：DC5V ± 10%
8. 外形尺寸：
主機： 170mm (長) X 130mm (寬) X50mm(高)
